检测项目
1.尖端几何精度：平行度误差≤0.5μm/10mm，直线度偏差≤1.2μm2.表面粗糙度：Ra≤0.05μm（接触面），Rz≤0.3μm（非接触面）3.弹性模量：190-210GPa（钛合金材质），允许3%波动范围4.夹持力稳定性：0.1-10mN连续可调，波动系数≤2%5.耐腐蚀性能：5%NaCl溶液浸泡72h后表面无点蚀
检测范围
1.MEMS器件装配用钛合金显微镊2.细胞操作生物兼容性不锈钢镊3.半导体晶圆处理碳化钨涂层镊4.光纤对准陶瓷基复合镊5.真空环境专用氮化铝绝缘镊
检测方法
ASTME2015-04《精密仪器表面粗糙度测定规范》ISO14978:2018《几何产品规范-测量设备校准通用要求》GB/T16857-2021《产品几何技术规范坐标测量机验收》ISO376:2011《金属材料单轴试验机力值校准》GB/T10128-2007《金属材料室温扭转试验方法》
检测设备
1.OlympusDSX1000数码显微镜：三维形貌分析（2000）2.MitutoyoLSM-9020激光扫描测量仪：尺寸精度0.1μm3.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：表面粗糙度0.01nm分辨率4.Instron5944微力测试系统：0.01mN力值分辨率5.ZeissSigma500场发射电镜：微观结构500k观测6.ThermoScientificiCAPRQICP-MS：金属离子析出量检测7.KeysightE4980AL阻抗分析仪：绝缘性能测试（100MHz）8.MTSNanoUTM动态力学分析仪：弹性模量测定（nN级）9.Q-LabQ-SUNXe-3氙灯老化箱：环境耐受性加速试验10.SartoriusCPA225D分析天平：质量变化监测（0.01mg）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
